Abstract 반도체 나노 와이어 (NW)의 주요 특징은 성장 조건을 견딜 수있는 기판에서 성장하여 유연한 전자 제품에 사용하기위한 방법을 마련한다는 것입니다. 우리는 폴리이 미드 기판상의 결정 실리콘 나노 와이어의 직접 성장에 대해보고한다. Si NW는 플라스마 강화 화학 기상 증착 (plasma enhanced chemical vapor deposition)에 의해 성장되며, 금 또는 인듐이 성장 종자로 사용되는 플라스틱 기판 (350 C)과 호환 될 정도로 충분히 낮은 온도에서 성장이 진행됩니다.
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